PET保護膜厚度的測量

 　　PET保護膜，PET離型膜在當(dāng)今微電子保護膜、光學(xué)保護膜、抗氧化保護膜、巨磁電阻保護膜、高溫超導(dǎo)保護膜等領(lǐng)域應(yīng)用越來越廣泛。工業(yè)應(yīng)用中的PET聚酯保護膜，PET離型膜，其厚度是一個非常重要的參數(shù)，直接關(guān)系到該保護膜材料能否正常工作。如大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)工藝中的各種保護膜，電路集成程度的不斷提高，保護膜厚度的任何微小變化，對集成電路的性能都會產(chǎn)生直接的影響。除此之外，PET聚酯保護膜，PET離型膜的力學(xué)性能，透光性能，磁性能，熱導(dǎo)率，表面結(jié)構(gòu)等都與厚度有著密切的聯(lián)系。
　　在人們對能精確測量保護膜厚度方法的迫切需求下，相應(yīng)地，產(chǎn)生了許多測量保護膜厚度的方案。而在眾多類方法當(dāng)中，光學(xué)方法是被應(yīng)用最廣泛的方法。它相對于其它類方法具有快速、準(zhǔn)確和不損傷保護膜等優(yōu)點。綜觀當(dāng)前眾多流行的分類方式，按照測量方法所依據(jù)的光學(xué)原理進行分類最具代表性，可分為干涉、衍射、透射、反射、偏振等。